CE-100

프로세스

  • 에칭

설명

  • 과산화수소-황산 계열의 안전성이 뛰어난 soft etching로서 동 표면의 산화막을 제거
  • 우수한 조도를 얻을 있을 수 있는 소프트 에칭제

장점

  • 동 표면에 미세한 Roughness를 부여하여 후 공정의 밀착력을 향상시킴
  • 효과적으로 동표면의 산화막을 제거할 수 있음
  • 에칭 속도가 일정